奕瑞科技在半年度業績會上介紹，推出QRGA-01S、QRGA-CIS、QRGA-HPR三個系列工藝管控級産品及配套電弧檢測系統，已在多家半導體客戶完成驗證並實現銷售，顧鐵預計2026年全年實現數千萬元的收入。
觀點網訊：9月16日，奕瑞科技在半年度業績會上，董事長、總經理顧鐵介紹，公司推出QRGA-01S、QRGA-CIS、QRGA-HPR三個系列的工藝管控級産品及配套電弧檢測系統。
該産品可為半導體工藝提供實時痕量氣體監測與等離子體狀态預警，相關産品及耗材已在多家半導體客戶完成驗證並實現銷售。
顧鐵介紹，随着半導體制造産能的擴張，同步放大了工藝環節對真空環境與氣體成分管控的要求。面向長期由歐美日廠商主導的RGA市場，公司基于電真空技術與真空測量的長期積累推出上述産品。
顧鐵預計，2026年全年實現數千萬元的收入。
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