觀點網訊:據國儀公司消息,10月18日,公司自主研發的200千伏場發射透射電鏡TEM-F200在南京市2026年全國電子顯微學學術年會上正式發佈。
據公司介紹,該產品信息分辨率達0.1納米,點分辨率達0.25納米,多項關鍵性能指標達到國際一流水平,並已具備量產交付能力。
透射電鏡是半導體、先進材料、新能源和生命科學等領域的關鍵分析工具。長期以來全球透射電鏡市場由少數國際廠商佔據,國內用戶在設備採購、關鍵部件供應、維修維護、軟件適配和應用服務等方面依賴外部供給。
在半導體領域,隨着芯片結構複雜化,透射電鏡在先進製程研發和芯片問題定位中的作用日益突出。芯片製造涉及多層薄膜、微小器件結構和複雜材料界面,透射電鏡可對芯片截面進行高分辨成像,觀察晶體排列、薄膜厚度、界面質量以及位錯、空洞、雜質等微觀缺陷,並結合微區成分分析,為工藝驗證、器件研發、失效分析和可靠性評估提供依據。
國儀公司介紹,200千伏級場發射透射電鏡對電子槍、高壓電源、電子光學、探測器和整機控制等多個系統的協同穩定性要求較高,公司團隊通過自主研發,完成了從核心模組、控制分析軟件、系統集成到整體優化的全流程。
