觀點網訊:10月14日,華海清科發佈中束流離子注入機IHQ-900E。

據介紹,該產品是國產首臺性能超越國外競品的中束流離子注入機。

該設備搭載華海清科自研的軟件平臺。據介紹,整機國產化率95.6%,預計2027年實現全部國產化。