觀點網訊：10月14日，拓荊科技發佈非晶碳薄膜沉積技術Flowable Carbon。

該技術目前已應用於NF-300M Supra-H設備。

該技術系列通過對前驅體的選擇和工藝條件的控制，穩定地實現了兩種填充性能不同的可流動碳膜工藝，分別為Capi-Carbon和Sedi-Carbon。