觀點網訊:10月18日,在2026年全國電子顯微學學術年會上,國儀量子發佈自主研發的200kV場發射透射電鏡TEM-F200,同期發佈120kV場發射透射電鏡TEM-F120。
TEM-F200信息分辨率為0.10nm,預計12月起接收測樣申請。
核心部件方面,TEM-F200採用自研高壓電源,加速電壓穩定性小於10ppm/h,加速高壓紋波小於0.5ppm,配高亮度場發射電子槍。主相機為自主研製的“星耀-16M”光纖耦合CMOS相機,採用9μm像元CMOS傳感器,4K×4K像素,1:1光纖耦合,全分辨率最高幀率24fps,合併像素後最高幀率優於96fps。
元素分析配置為Super-EDS超大面積極譜,採用對插式雙探頭,SDD總探測面積200mm²,無窗設計,能量分辨率≤127eV。
物鏡採用恆功率水冷設計;樣品臺為X/Y/Z/α四軸,配雙傾樣品杆可實現五軸,傾轉角α為±30°、β為±25°;聚光鏡光闌、物鏡光闌、選區光闌全自動控制,集成於PC端。
另一款產品TEM-F120綜合換樣時間小於5分鐘,電鏡空間與工作空間分離,更加適配生命科學、常規材料科研等場景。
