觀點網訊：9月8日，臺積電與阿斯麥宣佈啓動合作倡議，率先推動行業向高數值孔徑極紫外光刻所用的大尺寸光掩模過渡。

該合作倡議屬前瞻性佈局，並非量產落地或訂單承諾。按照時間表，臺積電計劃從2030年起將阿斯麥的高數值孔徑技術應用於先進製程節點的大規模量產，目標是在2031年前建成12英寸掩模中試生產線。

光掩模是極紫外光刻的關鍵耗材之一。