觀點網訊：近日，上海芯上微裝科技股份有限公司宣佈，其自主研發的350nm步進投影光刻機（AST6200）已通過國內化合物半導體領域頭部客戶的全流程工藝驗證，並獲得批量重複訂單，正式從研發落地階段走向商業化批量交付。

該設備可應用於功率器件、射頻前端、光電子芯片及MicroLED新型顯示等製程場景，研發定位專門針對碳化硅、砷化鎵等化合物半導體生產。

2025年11月，首臺AST6200完成出廠調試與驗收，併發往客戶生產現場。